高纯试剂的一种分类，主要是针对的是电子元件中使用的化学试剂，又称超净高纯试剂，最重要的特点就是金属含量极低。

定义

    高纯试剂的一种分类，主要是针对的是电子元件中使用的化学试剂，又称超净高纯试剂，最重要的特点就是金属含量极低。

用途

    用于硅片清洗,光刻,腐蚀工序，其纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。

特点

    超净高纯试剂具有品种多、用量大、技术要求高、贮存有效期短和强腐蚀性等特点。

分级

    国际半导体工业协会(SemiconductorIndustryAssociation)推出Semic7(适合0.8-1.2微米工艺技术)和Semic8(适合于0.2-0.6微米工艺技术)级别的试剂质量标准。

我国在原有的MOS级和BV-1级的基础上，又陆续推出BV-2,BV-3等规格